CAPACITIVE PRESSURE SENSOR AND METHOD OF THE SAME

A capacitive pressure sensor according to one embodiment of the present invention comprises: electrode layers made of a conductive polymer that transmits electromagnetic waves in the MHz band and spaced apart from each other; a first dielectric layer having first protrusions disposed between the electrode layers; and a second dielectric layer having second protrusions, wherein the first dielectric layer and the second dielectric layer are stacked so that the first protrusions and the second protrusions face each other, and an air gap may be formed in at least a partial region between the first dielectric layer and the second dielectric layer. Accordingly, the capacitive pressure sensor according to the embodiment of the present invention may be compatible with a magnetic resonance imaging apparatus, and the sensitivity to pressure changes may be improved. 본 발명은 본 발명의 일 실시예에 따른 정전 용량형 압력 센서는 MHz 대역의 전자기파를 투과시키는 전도성 고분자로 이루어지고 서로 이격된 전극층들, 상기 전극층들 사이에 배치된 제1 돌출부들을 가지는 제1 유전체층, 제2 돌출부들을 가지는 제2 유전체층을 포함하고, 제1 돌출부들과 제2 돌출부들이 서로 마주보도록 제1 유전체층 및 제2 유전체층이 적층되고, 제1 유전체층과 제2 유전체층 사이의 적어도 일부 영역에 에어갭이 형성될 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 일 실시예에 따른 정전 용량형 압력 센서는 자기공명영상 장치와 호환 가능하고, 압력 변화에 대한 민감도가 향상될 수 있다.