테스트 기판, 프로브들 및 검사 유닛을 서로 상대적으로 위치 설정하기 위한 방법 및 상기 방법을 실시하기 위한 테스터

본 발명은 테스트 기판(test substrate)(5), 프로브들(probes)(6) 및 검사 유닛(inspection unit)(9)을 서로 상대적으로 위치 설정하기 위한 방법 및 테스터(tester)(1)에 관한 것으로, 상기 방법에서 상기 테스트 기판(5) 및 프로브들(6)은 적어도 X-Y-평면 내에서 의도한 상대 위치로 서로 정렬되고 상기 검사 유닛(9)은, 상기 검사 유닛(9)의 초점이 상기 테스트 기판(5)의 관찰 지점 상으로 설정되어 있는 상대 위치 위의 Z-위치로 이동한다. 상기 검사 유닛(9)의 추적을 간소화하고...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	HERZ ENRICO, KELLER RALF, LORD ANTHONY JAMES, ANDREWS PETER DOUGLAS, THIELE FRANK, SCHNEIDER PETER, KIESEWETTER JOERG, KLATTENHOFF JENS, FISHER GAVIN, FLEISCHER HANS JUERGEN
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	MEASURING MEASURING ELECTRIC VARIABLES MEASURING MAGNETIC VARIABLES PHYSICS TESTING
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