테스트 기판, 프로브들 및 검사 유닛을 서로 상대적으로 위치 설정하기 위한 방법 및 상기 방법을 실시하기 위한 테스터

본 발명은 테스트 기판(test substrate)(5), 프로브들(probes)(6) 및 검사 유닛(inspection unit)(9)을 서로 상대적으로 위치 설정하기 위한 방법 및 테스터(tester)(1)에 관한 것으로, 상기 방법에서 상기 테스트 기판(5) 및 프로브들(6)은 적어도 X-Y-평면 내에서 의도한 상대 위치로 서로 정렬되고 상기 검사 유닛(9)은, 상기 검사 유닛(9)의 초점이 상기 테스트 기판(5)의 관찰 지점 상으로 설정되어 있는 상대 위치 위의 Z-위치로 이동한다. 상기 검사 유닛(9)의 추적을 간소화하고 가속화하기 위해, 상기 테스트 기판(5) 및 검사 유닛(9)은 이와 같은 출발 위치로부터 Z-방향으로 동기적으로(synchronous) 이동함으로써, 초점 평면이 유지된다. The invention relates to a method and a tester (1) for positioning the test substrate (5), probes (6) and inspection unit (9) relative to one another, in which the test substrate (5) and the probes (6) are oriented into a desired position relative to one another at least in the X-Y plane, and the inspection unit (9) is moved in a Z position over the relative position in which the focus of the inspection unit (9) is set onto an observation point on the test substrate (5). In order to make tracking of the inspection unit (9) simpler and faster, the test substrate (5) and the inspection unit (9) are moved synchronously from this starting position in the Z direction such that the focal plane is maintained.