균일한 근접장 포인팅 벡터 (Poynting vector) 를 생성하는 RF 안테나

중심 영역 및 외측 영역을 갖고 플라즈마 챔버의 유전체 윈도우 위에 배치되도록 구성된 사중 극자 안테나를 포함하는, 플라즈마를 생성하기 위한 장치. 사중 극자 안테나는 제 1 SDA를 규정하는 제 1 코일 및 제 2 SDA를 규정하는 제 2 코일을 포함하고, 제 1 코일은 제 2 코일 내에 중첩된 배열로 존재한다. 중첩된 배열은 제 1 코일 및 제 2 코일이 사중 극자 안테나의 중심 영역으로부터 외측 영역으로 스파이럴링할 때 제 2 코일의 대응하는 턴에 인접해 지도록 제 1 코일의 턴을 배치한다. 제 1 코일 및 제 2 코일 각각의...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	MOPIDEVI HEMA SWAROOP, ANDERSON THOMAS W, CHEN LEE
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL METALLURGY SEMICONDUCTOR DEVICES SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION
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