균일한 근접장 포인팅 벡터 (Poynting vector) 를 생성하는 RF 안테나

중심 영역 및 외측 영역을 갖고 플라즈마 챔버의 유전체 윈도우 위에 배치되도록 구성된 사중 극자 안테나를 포함하는, 플라즈마를 생성하기 위한 장치. 사중 극자 안테나는 제 1 SDA를 규정하는 제 1 코일 및 제 2 SDA를 규정하는 제 2 코일을 포함하고, 제 1 코일은 제 2 코일 내에 중첩된 배열로 존재한다. 중첩된 배열은 제 1 코일 및 제 2 코일이 사중 극자 안테나의 중심 영역으로부터 외측 영역으로 스파이럴링할 때 제 2 코일의 대응하는 턴에 인접해 지도록 제 1 코일의 턴을 배치한다. 제 1 코일 및 제 2 코일 각각의 인접한 턴들은 유전체 윈도우 위에 배치될 때 거리만큼 서로 수평으로 분리된다. An apparatus for generating plasma, including a quadrupole antenna having a center region and an outer region and configured to be disposed over a dielectric window of a plasma chamber. The quadrupole antenna including a first coil defining a first SDA and a second coil defining a second SDA, the first coil being in a nested arrangement within the second coil. The nested arrangement places a turn of the first coil to be adjacent to a corresponding turn of the second coil as the first and second coils spiral from the center region to the outer region of the quadrupole antenna. Adjacent turns of each of the first and second coils are horizontally separated from one another by a distance when disposed over the dielectric window.