DEVICE FOR ALIGNING TWO SUBSTRATES

본 발명은 제1 플랫폼(10) 위에 고정될 수 있는 제1 기판(1)의 제1 접촉 표면(1k)과 제2 플랫폼(20) 위에 고정될 수 있는 제2 기판(2)의 제2 접촉 표면(2k)을 정렬하기 위한 장치와 방법에 관한 것으로서, 상기 제1 접촉 표면(1k)을 따라 위치된 제1 정렬 키(3.1 내지 3.n)의 제1 X-Y 위치들이 제1 기판(1)의 움직임과 무관한 제1 X-Y 좌표계에서 제1 X-Y 평면(5) 내에 있는 제1 탐지 수단(7, 7')에 의해 탐지될 수 있으며, 제1 정렬 키(3.1 내지 3.n)에 상응하고 제2 접촉 표면(2k)을 따라 위치된 제2 정렬 키(4.1 내지 4.n)의 제2 X-Y 위치들이 제2 기판(2)의 움직임과 무관한 제2 X-Y 좌표계에서 제1 X-Y 평면(5)에 평행한 제2 X-Y 평면(6) 내에 있는 제2 탐지 수단(8, 8')에 의해 탐지될 수 있고, 제1 접촉 표면(1k)은 제1 정렬 위치에서 제1 X-Y 위치들에 따라 정렬될 수 있으며 제2 접촉 표면(2k)은 제2 정렬 위치에서 제2 X-Y 위치들에 따라 정렬될 수 있는 것을 특징으로 한다. The device has detection units (7) i.e. laser inferometers, detecting X-Y positions of alignment keys that are arranged along a contact surface. Other detection units (8) detect other X-Y positions of another alignment keys that correspond to the former keys and are arranged along another contact surface. The latter detection units are provided in an X-Y-level in a Cartesian X-Y-coordinate system that is independent of the movement of one of substrates (2). The surfaces are aligned in alignment positions that are determined based on the former and the latter X-Y positions, respectively. An independent claim is also included for a method for aligning the contact surface of the substrate with another contact surface of another substrate.