에지 링 부품 번호들을 슬롯 번호들에 맵핑하기 위한 식별자 사용

에지 링을 추적하기 위한 방법들 및 시스템들은 에지 링과 관련된 소스로부터 에지 링 식별자를 캡처하는 것을 포함한다. 에지 링은 에지 링 캐리어의 슬롯 내로 삽입되고, 에지 링은 에지 링 캐리어에 할당된다. 에지 링 식별자는 에지 링 캐리어 내외로 그리고 프로세싱 스테이션 내외로의 이송들을 결정하도록 추적된다. 에지 링 식별자의 추적은 에지 링에 관한 수명 정보를 제공하는 메타데이터 파일을 구축한다. Methods and systems for tracking an edge ring includes capturing an edge r...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	SEVILLANO EVELIO, HILL BRIDGET, O'DONNELL ROBERT, CHANG THOMAS, WASSEI PETER R, ROPES RONDA
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!