에지 링 부품 번호들을 슬롯 번호들에 맵핑하기 위한 식별자 사용

에지 링을 추적하기 위한 방법들 및 시스템들은 에지 링과 관련된 소스로부터 에지 링 식별자를 캡처하는 것을 포함한다. 에지 링은 에지 링 캐리어의 슬롯 내로 삽입되고, 에지 링은 에지 링 캐리어에 할당된다. 에지 링 식별자는 에지 링 캐리어 내외로 그리고 프로세싱 스테이션 내외로의 이송들을 결정하도록 추적된다. 에지 링 식별자의 추적은 에지 링에 관한 수명 정보를 제공하는 메타데이터 파일을 구축한다. Methods and systems for tracking an edge ring includes capturing an edge ring identifier from a source related to the edge ring. The edge ring is inserted into a slot of an edge ring carrier, wherein the edge ring is being assigned to the edge ring carrier. The edge ring identifier is tracked to determine transfers into and out of the edge ring carrier and into and out of a processing station. The tracking of the edge ring identifier builds a metadata file that provides lifetime information regarding the edge ring.