substrate Transfer robot

The present invention provides a substrate transport device. The substrate transport device of the present invention comprises: a hand body having a vacuum line and having an inner diameter greater than a diameter of a substrate; and a plurality of support fingers mounted on the hand body and supporting the edge region of the substrate. The support fingers include a suction pad unit having a suction hole for vacuum adsorbing the bottom surface of the substrate, a finger body fixed to the hand body, having an insertion hole in which the suction pad unit is mounted and an internal passage connecting the vacuum line and the suction hole formed on one surface, and a cover fixed by an adhesive to the one surface of the finger body to seal the internal passage. The one surface may include an applied surface to which the cover is adhesively fixed and an adhesive receiving groove for preventing the adhesive from flowing down into the internal passage. 본 발명은 기판 반송 장치를 제공한다. 본 발명의 기판 반송 장치는 진공라인을 갖는 그리고, 기판의 직경보다 큰 내경을 갖는 핸드 본체; 및 상기 핸드 본체에 장착되고, 기판의 가장자리 영역을 지지하는 복수개의 지지 핑거를 포함하되; 상기 지지 핑거는 기판의 저면을 진공 흡착하는 흡착홀을 갖는 흡착 패드부; 상기 핸드 본체에 고정되고, 상기 흡착 패드부가 장착되는 삽입구와, 상기 진공라인과 상기 흡착홀을 연결하는 내부 통로가 일면에 형성된 핑거 바디; 및 상기 내부 통로를 밀폐하도록 상기 핑거 바디의 상기 일면에 접착제에 의해 고정되는 커버를 포함하고, 상기 일면은 상기 커버가 접착 고정되는 도포면 및 상기 접착제가 상기 내부 통로로 흘러내리는 것을 방지하는 접착제 수용홈을 포함할 수 있다.