프로브, 검사 지그, 검사 장치, 및 프로브의 제조 방법

프로브(Pr)는, 대략 봉상 형상이며, 선단부(Pa)와, 기단부(Pb)와, 선단부(Pa)와 기단부(Pb) 사이에 위치하며 대략 봉상의 축방향과 직교하는 두께 방향의 두께가 선단부(Pa)보다도 얇은 몸통체부를 구비하고, 몸통체부(PC)는 선단부(Pa)에 이어지며 두께가 선단부(Pa)로부터 이격됨에 따라서 점차 얇아지는 방향으로 축방향에 대하여 경사지는 슬로프면(Fs1)을 포함하고, 슬로프면(Fs1)의 적어도 일부에는, 외측을 향해 부풀어 오른 면 형상을 갖는 제1 영역이 마련되어 있다. A probe has a substantially bar shape, and includes a tip end, a base end, and a body portion that is located between the tip end and the base end and has a thickness in a thickness direction orthogonal to an axial direction of the substantially bar shape thinner than the tip end. The body portion includes a slope surface that is continuous with the tip end and is inclined with respect to the axial direction in a direction in which the thickness becomes gradually thinner with increasing distance from the tip end. A first region having a surface shape that bulges outward is provided in at least a part of the slope surface.