leakage detection apparatus of capillary tube unit

The present invention relates to a leakage detection apparatus of a multi-branch capillary tube unit. The leakage detection apparatus includes: a chamber unit for inspecting a leakage of a welding part of a multi-branch capillary tube unit having a plurality of capillary tubes installed on a branch member connected with a circulation pipe, and including a body part including a base table installed in a frame, and a chamber lifted by an actuator installed in the body part and combined with the base table to divide an inspection space; a ventilation unit installed in the chamber unit to ventilate the inspection space by discharging leakage inspection gas of the inspection space; a gas supply unit for supplying the leakage inspection gas to the inspection space through a nozzle installed on the chamber or the base table; a capillary tube sealing jig unit installed in the inspection space of the chamber and combined with each capillary tube of the multi-branch capillary tube unit to seal an end of the capillary tube; a vacuum unit combined with the branch member of the multi-branch capillary tube unit supported by the capillary tube sealing jig to vacuum the inside; and a leakage gas detection unit sensing leakage inspection gas discharged when the inside of the multi-branch capillary tube unit is vacuumed by the vacuum unit. Therefore, the present invention is capable of improving productivity by reducing inspection time. 본 발명의 다발성 분기 모세관유닛의 누설 검출장치는 순환관과 연결되는 분기부재에 다수의 모세관이 설치되는 다발성 분기 모세관유닛의 용접부의 누설을 검사하기 위한 것으로, 프레임에 설치된 베이스테이블를 구비한 본체부와, 상기 본체부에 설치된 액튜에이터에 의해 승강되며 상기 베이스테이블에 결합됨으로써 검사공간을 구획하는 챔버를 포함하는 챔버유닛과, 상기 챔버유닛에 설치되어 검사공간의 누설검사가스의 배출하여 환기하기 위한 환기유닛과, 챔버 또는 베이스테이블에 설치되는 노즐을 통하여 검사공간에 누설검사가스를 공급하기 위한 가스공급유닛과, 상기 챔버의 검사공간에 설치되어 상기 다발성분기 모세관유닛의 각 모세관과 결합되어 모세관의 단부를 밀폐하기 위한 모세관밀폐지그유닛과, 상기 모세관밀폐지그에 지지된 다발성 모세관유닛의 분기부재와 결합되어 내부를 진공시키기 위한 진공유닛과, 상기 진공유닛에 의해 상기 다발성 분기 모세관유닛를 내부를 진공시 배출되는 누설검사가스를 감지하는 누설가스검출유닛을 구비한다.