MONOCHROMATOR

An embodiment of the present invention provides a monochromator, which includes: a light source unit emitting irradiation light; a first concave mirror reflecting a first reflected light parallel to an optical path of the irradiated light emitted from the light source unit; a turret rotatably disposed on the optical path of the first reflected light; a plurality of diffraction grating panels disposed on the turret and rotationally driven to form a spectrum by dividing the first reflected light by wavelength; a plurality of first driving units for rotationally driving the plurality of diffraction grating panels to fine-tune each beam angle; the turret in which the plurality of first driving units are disposed; a second driving unit for rotationally driving the turret; and a second concave mirror reflecting a spectrum and condensing the spectrum for each wavelength, wherein each of the plurality of first driving units has an angular acceleration higher than that of the second driving unit, and the second driving unit has a maximum rotational speed faster than that of the plurality of first driving units. The present invention provides the monochromator with improved responsiveness. 본 발명의 일 실시예는, 조사광을 방출하는 광원부; 상기 광원부에서 방출된 상기 조사광의 광경로에 나란한 제1 반사광으로 반사하는 제1 오목 거울; 상기 제1 반사광의 광경로 상에 회동가능하게 배치되는 터릿(turret); 상기 터릿 상에 배치되어 회전 구동되어 상기 제1 반사광을 파장별로 나누어 스펙트럼을 형성하는 복수의 회절 격자 패널; 상기 복수의 회절 격자 패널을 회전 구동하여 각각의 지향각을 미세 조정하는 복수의 제1 구동부; 상기 복수의 제1 구동부가 배치되는 터릿; 상기 터릿을 회전 구동하는 제2 구동부; 및 상기 스펙트럼을 반사하여 파장별로 집광하는 제2 오목 거울;을 포함하며, 상기 복수의 제1 구동부는 각각 상기 제2 구동부 보다 각가속도가 빠르며, 상기 제2 구동부는 상기 복수의 제1 구동부 보다 최대 회전속도가 빠른 단색화 장치를 제공한다.