광학 장치 및 레이저 시스템

본 발명은 입력 레이저 빔(20)을 라인형(line-like) 출력 빔(28, 40)으로 변환하기 위한 광학 장치(32)에 관한 것으로서, 광학 장치(32)는: - 입력 개구부(50) 및 긴 크기(elongate extent)를 갖는 출력 개구부(52) - 상기 출력 개구부는 개구부 종 방향(58)을 따라서 긴 방식으로 연장됨 -를 포함하는 재형상 광학 유닛(22) , - 재형상 광학 유닛(22)으로부터 출현하는 빔 패킷(24)을 라인형 출력 빔(40)으로 변화시키도록 구현되는 균일화 광학 유닛(26)을 포함한다.라인의 방향(x)에...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: BECK TORSTEN, TILLKORN CHRISTOPH, THIERFELDER SILKE, FLAMM DANIEL, HEIMES ANDREAS, LINGEL CHRISTIAN, MARSCHALL FELIX, HELLSTERN JULIAN
Format: Patent
Sprache:kor
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Beschreibung
Zusammenfassung:본 발명은 입력 레이저 빔(20)을 라인형(line-like) 출력 빔(28, 40)으로 변환하기 위한 광학 장치(32)에 관한 것으로서, 광학 장치(32)는: - 입력 개구부(50) 및 긴 크기(elongate extent)를 갖는 출력 개구부(52) - 상기 출력 개구부는 개구부 종 방향(58)을 따라서 긴 방식으로 연장됨 -를 포함하는 재형상 광학 유닛(22) , - 재형상 광학 유닛(22)으로부터 출현하는 빔 패킷(24)을 라인형 출력 빔(40)으로 변화시키도록 구현되는 균일화 광학 유닛(26)을 포함한다.라인의 방향(x)에 대해, 개구부 종 방향(58)은 비-소실 회전각(α)에 의해 전파의 방향(z)을 중심으로 회전되는 방식으로 연장된다. 본 발명은 또한 라인 형상의(line-shaped) 강도 분포를 생성하기 위한 레이저 시스템에 관한 것이다. An optical arrangement converts an input laser beam into a line-like output beam, which propagates along a propagation direction and which has, in a working plane, a line-like beam cross section extending along a line direction. The optical system includes: a reshaping optical unit having an input aperture, through which the input laser beam is radiated, and an elongate output aperture, elongatedly extending along an aperture longitudinal direction, the reshaping optical unit converting the input laser beam radiated through the input aperture into a beam packet exiting through the output aperture; and a homogenization optical unit which converts the beam packet into the line-like output beam, different beam segments of the beam packet being intermixed and superimposed along the line direction. The aperture longitudinal direction extends in a manner rotated about the propagation direction by a non-vanishing angle of rotation with respect to the line direction.