ASSEMBLY FOR SUPPORTING SUBSTRATE AND APPARATUS FOR PROCESSING SUBSTRATE

According to an embodiment of the present invention, provided is a substrate support assembly which can stably support a substrate. The substrate support assembly comprises: a frame having one or more insertion holes recessed from one surface, wherein the insertion hole has an inner flow hole and a screw hole located outside the inner flow hole; and a substrate support having a shaft body having one side inserted and installed into the insertion hole and a pin shaft connected to the shaft body to contact and support a substrate, wherein the shaft body includes an inner screw body located in the inner flow hole while being inserted into the insertion hole and a connection body disposed between the inner screw body and the pin shaft and positioned in the screw hole. A trough diameter of the screw hole is smaller than a diameter of the inner flow hole and an outer diameter of the inner screw body, the diameter of the inner flow hole is larger than the outer diameter of the inner screw body, and the inner screw body can pass through the screw hole by rotation. 본 발명의 일 실시예에 의하면, 기판 지지 조립체는, 일면으로부터 함몰된 삽입홀을 하나 이상 가지되, 상기 삽입홀은 내측유동홀 및 상기 내측유동홀의 외측에 위치하는 나사홀을 가지는 지지프레임; 그리고 일측이 상기 삽입홀에 삽입설치되는 샤프트 몸체와, 상기 샤프트 몸체에 연결되어 기판을 접촉지지하는 핀 샤프트를 구비하되, 상기 샤프트 몸체는 상기 삽입홀에 삽입설치된 상태에서 상기 내측유동홀에 위치하는 내측나사몸체와, 상기 내측나사몸체와 상기 핀 샤프트 사이에 배치되고 상기 나사홀에 위치하는 연결몸체를 구비하는 기판 지지체를 포함하며, 상기 나사홀의 골지름은 상기 내측유동홀의 지름 및 상기 내측나사몸체의 바깥지름보다 작고, 상기 내측유동홀의 지름은 상기 내측나사몸체의 바깥지름보다 크며, 상기 내측나사몸체는 회전에 의해 상기 나사홀을 통과가능하다.