METHOD OF CONTROLLING SCRIBING APPARATUS

A control method of a scribing apparatus according to an embodiment of the present invention includes: a step of mounting the substrate on a stage such that an end of the substrate having a first surface and a second surface protrudes from the stage; a step of setting a position of the support rolle...

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Hauptverfasser: KIM GWANG SOO, JANG HUI DONG
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
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Beschreibung
Zusammenfassung:A control method of a scribing apparatus according to an embodiment of the present invention includes: a step of mounting the substrate on a stage such that an end of the substrate having a first surface and a second surface protrudes from the stage; a step of setting a position of the support roller when the support roller comes in contact with the first surface of the substrate in the support portion of the substrate supported on the stage, as an initial position of the support roller; a step of positioning the support roller in the initial position at the end of the substrate; and a step of setting the position of the cutter wheel when the cutter wheel is brought in contact with and moved to the second surface of the substrate at the end of the substrate and the first surface of the substrate is in contact with the support roller as the initial position of the cutter wheel. Therefore, initial positions of the support roller and cutter wheel are accurately set relative to the end of the substrate. 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 제어 방법은, 제1 면 및 제2 면을 갖는 기판의 단부가 스테이지로부터 돌출되도록 기판을 스테이지에 탑재하는 단계; 스테이지에 지지된 기판의 지지부에서 지지 롤러가 기판의 제1 면에 접촉될 때의 지지 롤러의 위치를 지지 롤러의 초기 위치로 설정하는 단계; 기판의 단부에서 지지 롤러를 초기 위치에 위치시키는 단계; 및 기판의 단부에서 커터 휠을 기판의 제2 면에 접촉 및 이동시켜 지지 롤러에 기판의 제1 면이 접촉될 때의 커터 휠의 위치를 커터 휠의 초기 위치로서 설정하는 단계를 포함할 수 있다.