ADJUSTING AN AMOUNT OF COHERENCE OF A LIGHT BEAM

광학 시스템을 제어하기 위한 기술은 상기 광학 시스템으로부터 방출되는 펄스형 광빔의 특정 펄스의 특성의 측정값에 액세스하는 단계 - 상기 특성은 광빔의 코히어런스의 양에 관련됨 -; 광빔의 특성의 측정값을 특성의 목표값과 비교하는 단계; 이 비교에 기초하여 제어 신호를 생성할지의 여부를 결정하는 단계; 및 이 비교에 기초하여 제어신호가 생성되는 경우, 제어 신호에 기초하여 광학 시스템의 일 양태를 수정함으로써 광빔의 코히어런스의 양을 조정하여 특정 펄스에 후속되는 펄스의 코히어런스의 양을 감소시키는 단계를 포함한다. Techniques for controlling an optical system include accessing a measured value of a property of a particular pulse of a pulsed light beam emitted from the optical system, the property being related to an amount of coherence of the light beam; comparing the measured value of the property of the light beam to a target value of the property; determining whether to generate a control signal based on the comparison; and if a control signal is generated based on the comparison, adjusting the amount of coherence in the light beam by modifying an aspect of the optical system based on the control signal to reduce an amount of coherence of a pulse that is subsequent to the particular pulse.