반도체 검사 장치
미소 디바이스의 불량 해석에 있어서 고감도로 이상(異常)을 검출할 수 있는 반도체 검사 장치를 제공한다. 반도체 검사 장치는, 시료를 재치(載置)하는 시료대(6)와, 시료에 전자선을 조사하는 전자 광학계(1)와, 시료에 접촉되는 측정 탐침(3)과, 측정 탐침으로부터의 출력을 측정하는 측정기(8)와, 시료에의 전자선의 조사에 응답한 측정 탐침으로부터의 출력의 측정값을 취득하는 정보 처리 장치(9)를 갖고, 정보 처리 장치는, 시료에 대하여 전자선의 조사를 개시하는 타이밍 및 전자선의 조사를 프리즈하는 타이밍과, 전자선이 시료에 조사된...
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| Hauptverfasser: | , |
|---|---|
| Format: | Patent |
| Sprache: | kor |
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| Online-Zugang: | Volltext bestellen |
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