Suceptor

Suceptor

본 발명은 가이드 프레임이 일체화된 서셉터에 관한 것으로서, 가이드 프레임이 서셉터에 일체화된 가이드 프레임이 일체화된 서셉터에 관한 것이다. 이를 위해 기판을 고정 또는 지지하는 가이드 프레임이 일체화된 서셉터, 서셉터의 상부면 중 기판이 놓이는 제1 영역에 기 설정된 제1 피막 두께로 피막층이 형성되는 제1 피막층, 서셉터의 상부면 중 기판이 놓이지 않는 제2 영역에 기 설정된 제2 피막 두께로 피막층이 형성되는 제2 피막층, 제2 영역의 제2 피막층의 상부면에 기 설정된 제3 피막 두께로 피막층이 형성되는 제3 피막층을 포함하...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: KIM YOUNGMI, KIM MISUN, KIM KWANGYON
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
Schlagworte:
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRICITY
SEMICONDUCTOR DEVICES
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container_end_page
container_issue
container_start_page
container_title
container_volume
creator KIM YOUNGMI
KIM MISUN
KIM KWANGYON
description 본 발명은 가이드 프레임이 일체화된 서셉터에 관한 것으로서, 가이드 프레임이 서셉터에 일체화된 가이드 프레임이 일체화된 서셉터에 관한 것이다. 이를 위해 기판을 고정 또는 지지하는 가이드 프레임이 일체화된 서셉터, 서셉터의 상부면 중 기판이 놓이는 제1 영역에 기 설정된 제1 피막 두께로 피막층이 형성되는 제1 피막층, 서셉터의 상부면 중 기판이 놓이지 않는 제2 영역에 기 설정된 제2 피막 두께로 피막층이 형성되는 제2 피막층, 제2 영역의 제2 피막층의 상부면에 기 설정된 제3 피막 두께로 피막층이 형성되는 제3 피막층을 포함하는 것을 특징으로 하는 가이드 프레임이 일체화된 서셉터가 개시된다.
format Patent
fullrecord <record><control><sourceid>epo_EVB</sourceid><recordid>TN_cdi_epo_espacenet_KR20210008913A</recordid><sourceformat>XML</sourceformat><sourcesystem>PC</sourcesystem><sourcerecordid>KR20210008913A</sourcerecordid><originalsourceid>FETCH-epo_espacenet_KR20210008913A3</originalsourceid><addsrcrecordid>eNrjZOAILk1OLSjJL-JhYE1LzClO5YXS3AzKbq4hzh66qQX58anFBYnJqXmpJfHeQUYGRoYGBgYWlobGjsbEqQIA64UdFA</addsrcrecordid><sourcetype>Open Access Repository</sourcetype><iscdi>true</iscdi><recordtype>patent</recordtype></control><display><type>patent</type><title>Suceptor</title><source>esp@cenet</source><creator>KIM YOUNGMI ; KIM MISUN ; KIM KWANGYON</creator><creatorcontrib>KIM YOUNGMI ; KIM MISUN ; KIM KWANGYON</creatorcontrib><description>본 발명은 가이드 프레임이 일체화된 서셉터에 관한 것으로서, 가이드 프레임이 서셉터에 일체화된 가이드 프레임이 일체화된 서셉터에 관한 것이다. 이를 위해 기판을 고정 또는 지지하는 가이드 프레임이 일체화된 서셉터, 서셉터의 상부면 중 기판이 놓이는 제1 영역에 기 설정된 제1 피막 두께로 피막층이 형성되는 제1 피막층, 서셉터의 상부면 중 기판이 놓이지 않는 제2 영역에 기 설정된 제2 피막 두께로 피막층이 형성되는 제2 피막층, 제2 영역의 제2 피막층의 상부면에 기 설정된 제3 피막 두께로 피막층이 형성되는 제3 피막층을 포함하는 것을 특징으로 하는 가이드 프레임이 일체화된 서셉터가 개시된다.</description><language>eng ; kor</language><subject>BASIC ELECTRIC ELEMENTS ; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ; ELECTRICITY ; SEMICONDUCTOR DEVICES</subject><creationdate>2021</creationdate><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><linktohtml>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&amp;date=20210125&amp;DB=EPODOC&amp;CC=KR&amp;NR=20210008913A$$EHTML$$P50$$Gepo$$Hfree_for_read</linktohtml><link.rule.ids>230,308,780,885,25562,76317</link.rule.ids><linktorsrc>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&amp;date=20210125&amp;DB=EPODOC&amp;CC=KR&amp;NR=20210008913A$$EView_record_in_European_Patent_Office$$FView_record_in_$$GEuropean_Patent_Office$$Hfree_for_read</linktorsrc></links><search><creatorcontrib>KIM YOUNGMI</creatorcontrib><creatorcontrib>KIM MISUN</creatorcontrib><creatorcontrib>KIM KWANGYON</creatorcontrib><title>Suceptor</title><description>본 발명은 가이드 프레임이 일체화된 서셉터에 관한 것으로서, 가이드 프레임이 서셉터에 일체화된 가이드 프레임이 일체화된 서셉터에 관한 것이다. 이를 위해 기판을 고정 또는 지지하는 가이드 프레임이 일체화된 서셉터, 서셉터의 상부면 중 기판이 놓이는 제1 영역에 기 설정된 제1 피막 두께로 피막층이 형성되는 제1 피막층, 서셉터의 상부면 중 기판이 놓이지 않는 제2 영역에 기 설정된 제2 피막 두께로 피막층이 형성되는 제2 피막층, 제2 영역의 제2 피막층의 상부면에 기 설정된 제3 피막 두께로 피막층이 형성되는 제3 피막층을 포함하는 것을 특징으로 하는 가이드 프레임이 일체화된 서셉터가 개시된다.</description><subject>BASIC ELECTRIC ELEMENTS</subject><subject>ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR</subject><subject>ELECTRICITY</subject><subject>SEMICONDUCTOR DEVICES</subject><fulltext>true</fulltext><rsrctype>patent</rsrctype><creationdate>2021</creationdate><recordtype>patent</recordtype><sourceid>EVB</sourceid><recordid>eNrjZOAILk1OLSjJL-JhYE1LzClO5YXS3AzKbq4hzh66qQX58anFBYnJqXmpJfHeQUYGRoYGBgYWlobGjsbEqQIA64UdFA</recordid><startdate>20210125</startdate><enddate>20210125</enddate><creator>KIM YOUNGMI</creator><creator>KIM MISUN</creator><creator>KIM KWANGYON</creator><scope>EVB</scope></search><sort><creationdate>20210125</creationdate><title>Suceptor</title><author>KIM YOUNGMI ; KIM MISUN ; KIM KWANGYON</author></sort><facets><frbrtype>5</frbrtype><frbrgroupid>cdi_FETCH-epo_espacenet_KR20210008913A3</frbrgroupid><rsrctype>patents</rsrctype><prefilter>patents</prefilter><language>eng ; kor</language><creationdate>2021</creationdate><topic>BASIC ELECTRIC ELEMENTS</topic><topic>ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR</topic><topic>ELECTRICITY</topic><topic>SEMICONDUCTOR DEVICES</topic><toplevel>online_resources</toplevel><creatorcontrib>KIM YOUNGMI</creatorcontrib><creatorcontrib>KIM MISUN</creatorcontrib><creatorcontrib>KIM KWANGYON</creatorcontrib><collection>esp@cenet</collection></facets><delivery><delcategory>Remote Search Resource</delcategory><fulltext>fulltext_linktorsrc</fulltext></delivery><addata><au>KIM YOUNGMI</au><au>KIM MISUN</au><au>KIM KWANGYON</au><format>patent</format><genre>patent</genre><ristype>GEN</ristype><title>Suceptor</title><date>2021-01-25</date><risdate>2021</risdate><abstract>본 발명은 가이드 프레임이 일체화된 서셉터에 관한 것으로서, 가이드 프레임이 서셉터에 일체화된 가이드 프레임이 일체화된 서셉터에 관한 것이다. 이를 위해 기판을 고정 또는 지지하는 가이드 프레임이 일체화된 서셉터, 서셉터의 상부면 중 기판이 놓이는 제1 영역에 기 설정된 제1 피막 두께로 피막층이 형성되는 제1 피막층, 서셉터의 상부면 중 기판이 놓이지 않는 제2 영역에 기 설정된 제2 피막 두께로 피막층이 형성되는 제2 피막층, 제2 영역의 제2 피막층의 상부면에 기 설정된 제3 피막 두께로 피막층이 형성되는 제3 피막층을 포함하는 것을 특징으로 하는 가이드 프레임이 일체화된 서셉터가 개시된다.</abstract><oa>free_for_read</oa></addata></record>
fulltext fulltext_linktorsrc
identifier
ispartof
issn
language eng ; kor
recordid cdi_epo_espacenet_KR20210008913A
source esp@cenet
subjects BASIC ELECTRIC ELEMENTS
ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRICITY
SEMICONDUCTOR DEVICES
title Suceptor
url https://sfx.bib-bvb.de/sfx_tum?ctx_ver=Z39.88-2004&ctx_enc=info:ofi/enc:UTF-8&ctx_tim=2025-01-13T17%3A51%3A07IST&url_ver=Z39.88-2004&url_ctx_fmt=infofi/fmt:kev:mtx:ctx&rfr_id=info:sid/primo.exlibrisgroup.com:primo3-Article-epo_EVB&rft_val_fmt=info:ofi/fmt:kev:mtx:patent&rft.genre=patent&rft.au=KIM%20YOUNGMI&rft.date=2021-01-25&rft_id=info:doi/&rft_dat=%3Cepo_EVB%3EKR20210008913A%3C/epo_EVB%3E%3Curl%3E%3C/url%3E&disable_directlink=true&sfx.directlink=off&sfx.report_link=0&rft_id=info:oai/&rft_id=info:pmid/&rfr_iscdi=true