Suceptor
본 발명은 가이드 프레임이 일체화된 서셉터에 관한 것으로서, 가이드 프레임이 서셉터에 일체화된 가이드 프레임이 일체화된 서셉터에 관한 것이다. 이를 위해 기판을 고정 또는 지지하는 가이드 프레임이 일체화된 서셉터, 서셉터의 상부면 중 기판이 놓이는 제1 영역에 기 설정된 제1 피막 두께로 피막층이 형성되는 제1 피막층, 서셉터의 상부면 중 기판이 놓이지 않는 제2 영역에 기 설정된 제2 피막 두께로 피막층이 형성되는 제2 피막층, 제2 영역의 제2 피막층의 상부면에 기 설정된 제3 피막 두께로 피막층이 형성되는 제3 피막층을 포함하...
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|---|---|
| Format: | Patent |
| Sprache: | eng ; kor |
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| Zusammenfassung: | 본 발명은 가이드 프레임이 일체화된 서셉터에 관한 것으로서, 가이드 프레임이 서셉터에 일체화된 가이드 프레임이 일체화된 서셉터에 관한 것이다. 이를 위해 기판을 고정 또는 지지하는 가이드 프레임이 일체화된 서셉터, 서셉터의 상부면 중 기판이 놓이는 제1 영역에 기 설정된 제1 피막 두께로 피막층이 형성되는 제1 피막층, 서셉터의 상부면 중 기판이 놓이지 않는 제2 영역에 기 설정된 제2 피막 두께로 피막층이 형성되는 제2 피막층, 제2 영역의 제2 피막층의 상부면에 기 설정된 제3 피막 두께로 피막층이 형성되는 제3 피막층을 포함하는 것을 특징으로 하는 가이드 프레임이 일체화된 서셉터가 개시된다. |
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