원자선 발생 장치, 접합 장치, 표면 개질 방법 및 접합 방법

원자선 발생 장치(10)는, 원자선을 방출 가능한 조사구(23)가 마련된 방출면(22)을 갖는 케이스인 음극(20)과, 음극(20)의 내부에 배치되며, 음극(20)과의 사이에서 플라즈마를 발생시키는 양극(40)과, 제1 자장(B1)을 발생시키는 제1 자장 발생부(61)와 제2 자장(B2)을 발생시키는 제2 자장 발생부(62)를 갖고, 방출면(22)측에서 제1 자장을 제2 자장보다 위로 하여 보았을 때의 자장의 방향이 제1 자장에서는 좌향이며 제2 자장에서는 우향이 되도록 방출면(22)에 평행인 제1 자장 및 제2 자장을 음극(20) 내에 발생시키며, 음극(20) 내에서 생성된 양이온을 방출면에 유도하는 자장 발생부(61, 62)를 구비한다. An atomic beam generator includes a cathode constituted as a housing having an emission surface provided with an irradiation port through which an atomic beam is emissive; an anode disposed inside the cathode to generate plasma between the cathode and the anode; and a magnetic field generating unit including a first magnetic field generating unit that generates a first magnetic field and a second magnetic field generating unit that generates a second magnetic field, and guiding positive ions produced in the cathode to the emission surface by generating, in the cathode, the first magnetic field and the second magnetic field both parallel to the emission surface such that a magnetic field direction is leftward in the first magnetic field and is rightward in the second magnetic field when viewed from an emission surface side on condition of the first magnetic field being positioned above the second magnetic field.