LIQUID PROCESSING APPARATUS AND LIQUID PROCESSING METHOD

According to the present invention, the number of components of a treatment liquid supply unit of a liquid treatment apparatus can be reduced. The liquid treatment apparatus includes a tank, a circulation passage, a pump, a plurality of liquid treatment parts and a plurality of supply passages. The circulation passage has a main passage part equipped with a pump, and first and second branch passage parts branched from the main passage part. Treatment liquid spilled from the tank flows into each of the branch passage parts after passing through the main passage part to return to the tank through each of the branch passage parts. The plurality of liquid treatment parts are divided into first and second treatment part groups, and the plurality of supply passages are divided into first and second passage groups. Liquid treatment parts belonging to the first treatment part group are connected to the first branch passage part through supply passages belonging to the first passage group, respectively, and liquid treatment parts belonging to the second treatment part group are connected to the second branch passage part through supply passages belonging to the second passage group, respectively. 본 발명은, 액 처리 장치의 처리액 공급 기구의 부품 개수를 삭감한다. 액 처리 장치는, 탱크와, 순환 통로와, 펌프와, 복수의 액 처리부와, 복수의 공급 통로를 구비하고, 순환 통로는, 펌프가 마련된 주 통로 부분과, 주 통로 부분으로부터 분기한 제1 분기 통로 부분 및 제2 분기 통로 부분을 갖고, 탱크로부터 유출된 처리액은, 주 통로 부분을 통과한 후에, 각 분기 통로 부분에 유입되어, 각 분기 통로 부분을 통해서 탱크에 되돌아가도록 구성되어 있고, 복수의 액 처리부는, 제1 처리부 군과 제2 처리부 군으로 분할되고, 복수의 공급 통로는, 제1 통로 군과 제2 통로 군으로 분할되고, 제1 처리부 군에 속하는 액 처리부는 각각 제1 통로 군에 속하는 공급 통로를 통해서 제1 분기 통로 부분에 접속되고, 제2 처리부 군에 속하는 액 처리부는 각각 제2 통로 군에 속하는 공급 통로를 통해서 제2 분기 통로 부분에 접속되어 있다.