석영유리판

본 발명은, 석영유리판 본체와, 이 석영유리판 본체와 접착층을 개재하여 접착된 석영유리부재를 갖는 석영유리판으로서, 상기 접착층은 실리카로 이루어지고, 상기 접착층에 포함되는 알칼리금속이온인 Li, Na, K이온과 알칼리토류금속이온인 Ca이온의 농도의 합계가 10질량ppm 이하인 석영유리판이다. 이로 인해, 균일한 두께의 단차를 형성할 수 있고, 자외선을 포함하는 광의 조사에 의한 파손이 일어나기 어려운 석영유리판이 제공된다. The present invention is a quartz glass plate having a quar...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	YOSHIDA NOBUMASA, MORI TATSUYA, YOKOSAWA YUYA, SHIMADA ATSUSHI, SATO AKIRA
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR BASIC ELECTRIC ELEMENTS CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES, OR VITREOUSENAMELS CHEMISTRY CINEMATOGRAPHY ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY ELECTROGRAPHY GLASS HOLOGRAPHY JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES MATERIALS THEREFOR METALLURGY MINERAL OR SLAG WOOL ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS SEMICONDUCTOR DEVICES SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS,MINERALS OR SLAGS SURFACE TREATMENT OF GLASS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	본 발명은, 석영유리판 본체와, 이 석영유리판 본체와 접착층을 개재하여 접착된 석영유리부재를 갖는 석영유리판으로서, 상기 접착층은 실리카로 이루어지고, 상기 접착층에 포함되는 알칼리금속이온인 Li, Na, K이온과 알칼리토류금속이온인 Ca이온의 농도의 합계가 10질량ppm 이하인 석영유리판이다. 이로 인해, 균일한 두께의 단차를 형성할 수 있고, 자외선을 포함하는 광의 조사에 의한 파손이 일어나기 어려운 석영유리판이 제공된다. The present invention is a quartz glass plate having a quartz glass plate body and a quartz glass member adhered to the quartz glass plate body through an adhesive layer, where the adhesive layer contains silica, and a sum of concentrations of Li, Na, and K ions, being alkali metal ions and Ca ions, being alkaline earth metal ions contained in the adhesive layer is 10 ppm by mass or less. Consequently, a step with a uniform thickness can be formed, and a quartz glass plate that is not easily damaged by irradiation with a light containing an ultraviolet ray is provided.