정전 척 필터 박스 및 마운팅 브라켓

페데스탈 리프트와 정전 척 RF 필터 박스를 전기적으로 커플링하는 장치 및 방법. RF 필터 박스는 RF 필터 박스의 외측 메이팅 표면 상의 콘택트 블록 및 적어도 하나의 정렬 피처를 갖는다. 콘택트 블록은 자기-정렬 전기 커넥터들을 포함하고, 정렬 피처는 콘택트 블록이 페데스탈 리프트의 브라켓에 마운팅될 때 자기-정렬 전기 커넥터들과 페데스탈 리프트의 브라켓 상의 대응하는 전기 커넥터들이 자동으로 메이팅하도록, 페데스탈 리프트의 브라켓 상의 대응하는 전기 커넥터들과 자기-정렬 전기 커넥터들을 정렬하기 위해 구성된다. An apparatus and method electrically coupling an electrostatic chuck RF filter box with a pedestal lift. The RF filter box has a contact block and at least one alignment feature on an outer mating surface of the RF filter block. The contact block includes self-aligning electrical connectors and the alignment feature is configured for aligning self-aligning electrical connectors with corresponding electrical connectors on the bracket of the pedestal lift such that the self-aligning electrical connectors and the corresponding electrical connectors on the bracket of the pedestal lift automatically mate when the contact block is mounted to the bracket of the pedestal lift.