BOAT FOR SEMICONDUCTOR PROCESSING

Disclosed is a boat for a semiconductor process which carries a charged wafer into a reactor. The boat comprises: a base of a wafer; an upper plate spaced parallel to an upper portion of the base; a plurality of rods installed between the base and the upper plate and disposed to form a wafer charge space therein and to form an inlet through which the wafer can enter and exit in one direction; and a plurality of wafer support units configured on the plurality of rods and forming a plurality of vertically arranged slots. 본 발명은 차지(Charge)한 웨이퍼를 리액터로 반입하는 반도체 공정용 보트를 개시하며, 상기 보트는 웨이퍼의 베이스;, 상기 베이스의 상부에 평행하게 이격된 상부 플레이트; 상기 베이스와 상기 상부 플레이트 사이에 설치되며, 웨이퍼 차지 공간을 내부에 형성하고 일방향에 대하여 웨이퍼의 출입이 가능한 입구를 형성하도록 배치되는 복수 개의 라드(Rod); 및 상기 복수 개의 라드에 구성되며, 수직으로 배열된 복수 개의 슬롯을 형성하는 복수 개의 웨이퍼 지지부;를 포함하도록 구성된다.