INSPECTION DEVICE

Provided is an inspection device capable of easily conveying both an upper jig in contact with an upper surface of an object to be inspected and a lower jig in contact with a lower surface of an object to be inspected. The inspection device (1) comprises: a jig shelf (3) capable of accommodating an upper jig (6U) and a lower jig (6D); an arm member (41) capable of selectively loading the upper jig (6U) and the lower jig (6D); an arm driving unit (42) driving the arm member (41); an upper detachment mechanism (8U) receiving the upper jig (6U) from the arm member (41) and installing the upper jig in an upper mounting portion (2U); and a lower detachment mechanism (8D) receiving the lower jig (6D) from the arm member (41) and installing the lower jig in a lower mounting portion (2D). The arm driving unit (42) takes out the upper jig (6U) from the jig shelf (3) to convey the upper jig to the upper detachment mechanism (8U), and takes out the lower jig (6D) from the jig shelf (3) to convey the lower jig to the lower detachment mechanism (8D). 검사 대상물의 상면에 접촉하는 상부 지그 및 검사 대상물의 하면에 접촉하는 하부 지그의 양쪽을 반송하는 것이 용이한 검사 장치를 제공한다. 검사 장치(1)는, 상부 지그(6U)와 하부 지그(6D)를 수용 가능한 지그 선반(3)과, 상부 지그(6U) 및 하부 지그(6D)를 선택적으로 적재 가능한 암 부재(41)와, 암 부재(41)를 구동하는 암 구동부(42)와, 암 부재(41)로부터 상부 지그(6U)를 수취하여 상측 설치부(2U)에 설치하는 상측 탈착 기구(8U)와, 암 부재(41)로부터 하부 지그(6D)를 수취하여 하측 설치부(2D)에 설치하는 하측 탈착 기구(8D)를 구비하고, 암 구동부(42)는, 상부 지그(6U)를 지그 선반(3)으로부터 취출하여 상측 탈착 기구(8U)로 반송하고, 하부 지그(6D)를 지그 선반(3)으로부터 취출하여 하측 탈착 기구(8D)로 반송한다.