Wafer Inspection Apparatus

Wafer Inspection Apparatus

본 발명은 챔버; 상기 챔버 내부에 배치되는 본체부; 상기 본체부에 설치되고, 웨이퍼를 이동가능하게 지지하는 스테이지부; 상기 스테이지부에 위치한 상기 웨이퍼의 산화막 두께를 측정하는 두께측정부; 및 상기 웨이퍼의 에지를 측정하는 에지측정부를 포함하는 웨이퍼 검사 장치를 제공한다....

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: LEE CHI BOK, LEE YUUN HWAN
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
Schlagworte:
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRICITY
SEMICONDUCTOR DEVICES
Online-Zugang:Volltext bestellen
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Beschreibung
Zusammenfassung:본 발명은 챔버; 상기 챔버 내부에 배치되는 본체부; 상기 본체부에 설치되고, 웨이퍼를 이동가능하게 지지하는 스테이지부; 상기 스테이지부에 위치한 상기 웨이퍼의 산화막 두께를 측정하는 두께측정부; 및 상기 웨이퍼의 에지를 측정하는 에지측정부를 포함하는 웨이퍼 검사 장치를 제공한다.