PURGE APPARATUS AND PURGE METHOD

본 발명의 실시예에 따른 퍼지 처리 장치는, 대상물이 수납된 용기가 탑재되는 지지 스테이지; 지지 스테이지에 설치되고 용기가 지지 스테이지 상에 탑재될 때 용기의 가스 유입공과 연통되는 복수의 가스 공급 포트; 지지 스테이지에 설치되고 용기가 지지 스테이지 상에 탑재될 때 용기의 가스 유출공과 연통되는 가스 배출 포트; 복수의 가스 공급 포트를 통해 용기 내로 퍼지 가스를 공급하는 가스 공급 유닛; 및 가스 배출 포트를 통해 용기 내의 퍼지 가스를 배출하는 가스 배출 유닛을 포함할 수 있다....

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	CHOI JONG SUK, PARK SUNG JIN, LEE JUN HO, CHO JUNG IN, PARK JOONG HEUP, JEONG YEON KYU, JUNG EUN JI, KIM DOO BONG, LEE SU UNG, CHAE JAE MIN
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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Beschreibung
Zusammenfassung:	본 발명의 실시예에 따른 퍼지 처리 장치는, 대상물이 수납된 용기가 탑재되는 지지 스테이지; 지지 스테이지에 설치되고 용기가 지지 스테이지 상에 탑재될 때 용기의 가스 유입공과 연통되는 복수의 가스 공급 포트; 지지 스테이지에 설치되고 용기가 지지 스테이지 상에 탑재될 때 용기의 가스 유출공과 연통되는 가스 배출 포트; 복수의 가스 공급 포트를 통해 용기 내로 퍼지 가스를 공급하는 가스 공급 유닛; 및 가스 배출 포트를 통해 용기 내의 퍼지 가스를 배출하는 가스 배출 유닛을 포함할 수 있다.