GAS SENSOR BASED ON GRAPHENE AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR

본 발명의 일 실시예에 따른 그래핀 기반 가스 센서는, 센서 기판과, 상기 센서 기판 상의 적어도 일부에 배치되며 이온빔에 의해 형성된 격자 결함을 포함하는 그래핀과, 상기 그래핀과 연결되며 상기 그래핀에 전류를 인가하는 전류인가부와 상기 인가되는 전류에 의해 발생되는 상기 그래핀의 전압을 측정하는 전압측정부를 포함하는 전극부를 포함할 수 있다....

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	YEO SUN MOG, LEE CHAN YOUNG
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING PHYSICS TESTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	본 발명의 일 실시예에 따른 그래핀 기반 가스 센서는, 센서 기판과, 상기 센서 기판 상의 적어도 일부에 배치되며 이온빔에 의해 형성된 격자 결함을 포함하는 그래핀과, 상기 그래핀과 연결되며 상기 그래핀에 전류를 인가하는 전류인가부와 상기 인가되는 전류에 의해 발생되는 상기 그래핀의 전압을 측정하는 전압측정부를 포함하는 전극부를 포함할 수 있다.