Apparatus for laminating film and method for laminating film
본 발명은 필름 부착장치 및 필름 부착방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 가요성의 정전척 시트를 이용하는 필름 부착장치 및 필름 부착방법에 관한 것이다. 본 발명의 일실시예에 따른 필름 부착장치는 정전기력으로 필름을 고정하는 가요성의 정전척 시트; 상기 필름이 부착되는 부착 대상물을 지지하여 고정하는 스테이지부; 및 상기 스테이지부를 향해 상기 정전척 시트에 가압력을 제공하여, 상기 필름을 상기 부착 대상물에 부착시키는 가압 롤러부;를 포함할 수 있다....
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; kor |
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Zusammenfassung: | 본 발명은 필름 부착장치 및 필름 부착방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 가요성의 정전척 시트를 이용하는 필름 부착장치 및 필름 부착방법에 관한 것이다. 본 발명의 일실시예에 따른 필름 부착장치는 정전기력으로 필름을 고정하는 가요성의 정전척 시트; 상기 필름이 부착되는 부착 대상물을 지지하여 고정하는 스테이지부; 및 상기 스테이지부를 향해 상기 정전척 시트에 가압력을 제공하여, 상기 필름을 상기 부착 대상물에 부착시키는 가압 롤러부;를 포함할 수 있다. |
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