감소된 데드 레그들 (dead legs) 을 갖는 가스 전달 시스템을 포함하는 기판 프로세싱 시스템들

가스 전달 시스템이 제 1 포트와 제 2 포트 사이에 위치된 제 1 밸브를 포함하는 2-포트 밸브를 포함한다. 4-포트 밸브가 제 1 포트 및 제 2 포트에 연결된 제 1 노드를 포함한다. 바이패스 (bypass) 경로가 제 3 포트와 제 4 포트 사이에 위치된다. 제 2 노드가 바이패스 경로를 따라 위치된다. 제 2 밸브가 제 1 노드와 제 2 노드 사이에 위치된다. 매니폴드 블록이 제 1 유입구에 4-포트 밸브의 제 1 포트를 연결하도록 구성되고, 2-포트 밸브의 제 1 포트에 4-포트 밸브의 제 2 포트를, 제 2 유입구에 4-포트 밸브의 제 3 포트를, 제 1 유출구에 2-포트 밸브의 제 2 포트를, 그리고 제 2 유출구에 4-포트 밸브의 제 4 포트를 연결하도록 구성된 가스 플로우 채널들을 규정한다. A gas delivery system includes a 2-port valve including a first valve located between a first port and a second port. A 4-port valve includes a first node connected to a first port and a second port. A bypass path is located between the third port and the fourth port. A second node is located along the bypass path. A second valve is located between the first node and the second node. A manifold block defines gas flow channels configured to connect the first port of the 4-port valve to a first inlet, configured to connect the second port of the 4-port valve to the first port of the 2-port valve, the third port of the 4-port valve to a second inlet, the second port of the 2-port valve to a first outlet, and the fourth port of the 4-port valve to a second outlet.