기판 이송 장치

기판 이송 장치(substrate transport apparatus)는, 비틀림 모션(torsional motion) 구동 부재의 회전축을 둘러싸는 외부 주변부를 가지는 비틀림 모션 구동 부재, 및 몸체부와 상기 몸체부에 회전 가능하게 결합된 베어링 칼라(bearing collar)를 포함하는 비틀림 모션 종동 부재(follower member)를 포함하며, 상기 비틀림 모션 종동 부재는 실질적으로 치수 불변의 인터페이스(dimensionally substantially invariant interface)에 의해 상기 비틀림 모션 구동 부재에 결합되고, 상기 베어링 칼라는, 상기 외부 주변부가, 전체로서, 상기 베어링 칼라로부터 자유롭도록 상기 비틀림 모션 구동 부재의 외부 주변부로부터 분리된다. A substrate transport apparatus including, a torsional motion driver member having an exterior perimeter circumscribing an axis of rotation of the torsional motion driver member, and a torsional motion follower member including a body portion and a bearing collar rotatably coupled to the body portion, the torsional motion follower member being coupled to the torsional motion driver member with a dimensionally substantially invariant interface, wherein the bearing collar is decoupled from the exterior perimeter of the torsional motion driver member so that the exterior perimeter, as a whole, is free of the bearing collar.