MEMS 코리올리 가스 유량 제어기

유체 전달 시스템은 N 개의 제 1 밸브들을 포함한다. N 개의 제 1 밸브들의 유입구들은 N 개의 가스 소스들에 각각 유체적으로 연결되고, 여기서 N은 0보다 큰 정수이다. N 개의 질량 유량 제어기들은 N 개의 제 1 밸브들 중 대응하는 밸브의 유출구와 유체로 연통하는 유입구를 갖는 MEMS (microelectromechanical) 코리올리 (Coriolis) 유량 센서를 포함한다. 제 2 밸브는 MEMS 코리올리 유량 센서의 유출구와 유체로 연통하는 유입구 및 프로세싱 챔버에 배치된 기판을 처리하기 위해 유체를 공급하는 유출구를 갖는다. 제어기는 MEMS 코리올리 유량 센서와 통신하고 MEMS 코리올리 유량 센서를 통해 흐르는 유체의 질량 유량 레이트 (mass flow rate) 및 밀도 중 적어도 하나를 결정하도록 구성된다. A fluid delivery system includes N first valves. Inlets of the N first valves are fluidly connected to N gas sources, respectively, where N is an integer greater than zero. N mass flow controllers include a microelectromechanical (MEMS) Coriolis flow sensor having an inlet in fluid communication with an outlet of a corresponding one of the N first valves. A second valve has an inlet in fluid communication with an outlet of the MEMS Coriolis flow sensor and an outlet supplying fluid to treat a substrate arranged in a processing chamber. A controller in communication with the MEMS Coriolis flow sensor is configured to determine at least one of a mass flow rate and a density of fluid flowing through the MEMS Coriolis flow sensor.