반사 전자의 에너지 스펙트럼을 측정하는 장치 및 방법

본 발명은, 시료로부터 발생한 반사 전자의 에너지를 분석하기 위한 장치 및 방법에 관한 것이다. 장치는, 1차 전자선을 발생시키기 위한 전자선원(101)과, 1차 전자선을 시료까지 유도하여 집속 및 편향시키는 전자 광학계(102, 105, 112)와, 시료로부터 발생한 반사 전자의 에너지 스펙트럼을 검출 가능한 에너지 분석계를 구비한다. 에너지 분석계는, 반사 전자를 분산시키는 빈 필터(108)와, 빈 필터(108)에 의해 분산된 반사 전자의 에너지 스펙트럼을 측정하기 위한 검출기(107)와, 빈 필터(108)의 4극장의 강도를 변화시키면서, 4극장의 강도의 변화와 동기하여 검출기(107)의 반사 전자의 검출 위치를 이동시키는 동작 제어부(150)를 구비한다. The present invention relates to an apparatus and method for analyzing the energy of backscattered electrons generated from a specimen. The apparatus includes: an electron beam source (101) for generating a primary electron beam; an electron optical system (102, 105, 112) configured to direct the primary electron beam to a specimen while focusing and deflecting the primary electron beam; and an energy analyzing system configured to detect an energy spectrum of backscattered electrons emitted from the specimen. The energy analyzing system includes: a Wien filter (108) configured to disperse the backscattered electrons; a detector (107) configured to measure the energy spectrum of the backscattered electrons dispersed by the Wien filter (108); and an operation controller (150) configured to change an intensity of a quadrupole field of the Wien filter (108), while moving a detecting position of the detector (107) for the backscattered electrons in synchronization with the change in the intensity of the quadrupole field.