HYDRAULIC DRIVE SYSTEM AND GATE VALVE

The present invention relates to a hydraulic drive system, which includes a vacuum actuator which expands and contracts to be able to pressurize an object in a chamber of a vacuum atmosphere, a hydraulic drive unit, and a drive unit. The vacuum actuator includes an extension rod which can extend toward an object, and a biasing member which biases the extension rod in a direction of separating from the object. The vacuum actuator generates a driving force greater than the biasing force of the biasing member by hydraulic pressure supplied from the hydraulic drive unit to drive the elastic rod. The drive unit is provided with a hydraulic pressure suppression unit which suppresses an increase in hydraulic pressure in response to the reversal of a motor when the extension rod moves in a direction of being close to the object by the biasing force of the hydraulic biasing member. Accordingly, it is possible to prevent damage to components at the end of springback. 본 발명의 유압 구동 시스템은, 진공 분위기로 되는 챔버 내에서 대상물을 압압 가능하게 신축하는 진공 액추에이터와, 유압 구동부와, 구동부를 가지는 유압 구동 시스템이다. 진공 액추에이터는, 대상물을 향해 신축 가능한 신축 로드와, 신축 로드를 대상물에서 이간하는 방향으로 부세하는 부세 부재를 가진다. 진공 액추에이터는, 유압 구동부로부터 공급된 작동 유압에 의해 부세 부재의 부세력 보다 큰 구동력을 발생하여 신축 로드를 구동시킨다. 구동부에는, 유압 부세 부재의 부세력에 의해 신축 로드가 대상물에 근접하는 방향으로 이동했을 때에, 모터의 역전에 대응하여 유압의 상승을 억제하는 유압 억제부가 설치되어 있다.