MACHINING APPARATUS

Provided is a processing apparatus which is able to relieve reaction when a maintaining means or a processing means accelerates or decelerates. The processing apparatus (2) at least comprises: a maintaining means (4) which maintains a subject to be processed; a processing means (6) which processes a subject to be processed maintained by the maintaining means (4); and a processing/transferring means (8) which processes and transfers the maintaining means (4) or the processing means (6). The processing/transferring means (8) at least includes: a moving table (30) to which the maintaining means (4) or the processing means (6) is connected; a base (32) having a guide rail (32a) which supports the moving table (30) and is extended in a processing/transferring direction (X); a linear motor rail (34) which drives the moving table (30) and is extended in the processing/transferring direction (X); a relieving rail (32b) placed on the base (32), supporting the linear motor rail (34), extended in the processing/transferring direction (X), and relieving the reaction when the moving table (30) accelerates or decelerates; and a damper (36) placed between the linear motor rail (34) and the base (32). (과제) 유지 수단 또는 가공 수단이 가속 및 감속할 때의 반력을 완화할 수 있는 가공 장치를 제공한다. (해결 수단) 가공 장치(2)는, 피가공물을 유지하는 유지 수단(4)과, 유지 수단(4)에 유지된 피가공물을 가공하는 가공 수단(6)과, 유지 수단(4) 또는 가공 수단(6)을 가공 이송하는 가공 이송 수단(8)을 적어도 포함한다. 가공 이송 수단(8)은, 유지 수단(4) 또는 가공 수단(6)이 연결되는 이동 테이블(30)과, 이동 테이블(30)을 지지하고 가공 이송 방향(X)으로 연장되는 안내 레일(32a)이 배치된 베이스(32)와, 이동 테이블(30)을 구동하고 가공 이송 방향(X)으로 연장되는 리니어 모터 레일(34)과, 베이스(32)에 배치되고 리니어 모터 레일(34)을 지지하며 가공 이송 방향(X)으로 연장하고 이동 테이블(30)이 가속 및 감속할 때의 반력을 완화하는 완화 레일(32b)과, 리니어 모터 레일(34)과 베이스(32)와의 사이에 배치된 댐퍼(36)를 적어도 포함한다.