METHOD FOR REMOVING REMAINING GAS OF PIPE CONNECTED TO SUBSTRATE PROCESS APPARATUS

본 발명의 실시 예에 따른 가스 제거 시스템의 기판 처리 장치에 연결된 배관의 잔류 가스를 제거하는 방법에 관한 것으로, 상기 가스 제거 시스템은, 상기 기판 처리 장치와 복수의 배관으로 연결되고, 저장 용기에 저장된 서로 다른 종류의 가스를 각각의 배관을 통해 상기 기판 처리 장치로 분배하는 밸브 매니폴드 박스; 및 상기 밸브 매니폴드 박스 내의 배관 중에서 적어도 하나와 연결되고, 상기 연결된 배관에 잔류하는 가스를 제거하기 위한 가스 제거 장치를 포함하고, 상기 가스 제거 시스템의 잔류 가스 제거 방법은, 상기 밸브 매니폴드...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	JO JU HYEONG, JO, SU MIN, JEONG MUN SU, KIM IN SU, LEE IL YONG
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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Beschreibung
Zusammenfassung:	본 발명의 실시 예에 따른 가스 제거 시스템의 기판 처리 장치에 연결된 배관의 잔류 가스를 제거하는 방법에 관한 것으로, 상기 가스 제거 시스템은, 상기 기판 처리 장치와 복수의 배관으로 연결되고, 저장 용기에 저장된 서로 다른 종류의 가스를 각각의 배관을 통해 상기 기판 처리 장치로 분배하는 밸브 매니폴드 박스; 및 상기 밸브 매니폴드 박스 내의 배관 중에서 적어도 하나와 연결되고, 상기 연결된 배관에 잔류하는 가스를 제거하기 위한 가스 제거 장치를 포함하고, 상기 가스 제거 시스템의 잔류 가스 제거 방법은, 상기 밸브 매니폴드 박스 내의 상기 연결된 배관과 연결되는 연결라인을 통해 상기 연결된 배관으로 퍼지 가스를 주입하는 단계; 및 상기 연결 라인을 통해 상기 연결된 배관 내의 가스를 외부로 배기하는 단계를 포함한다.