Gate Valve

The present invention relates to an opening/closing detection device for a gate valve that can prevent a process from being performed in a state in which the entrance is not completely sealed. The gate valve includes: a first opening and closing part that opens and closes a first entrance for entry and exit of a substrate; a second opening and closing part for opening and closing a second entrance arranged to face the first entrance based on a first axial direction; a gate body in which the first opening and closing part and the second opening and closing part are movably coupled; a first elevating part for raising and lowering one side of the gate body in a vertical direction based on a second axial direction perpendicular to the first axial direction; a second elevating part for raising and lowering the other side of the gate body in the vertical direction based on the second axis direction; a driving part for moving the first opening and closing part and the second opening and closing part in opposite directions along the first axis direction using pneumatic pressure; and a synchronization part for synchronizing one side of the gate body and the other side of the gate body to move up and down together, wherein the driving part generates pneumatic pressure inside the gate body to move the first opening and closing part and the second opening and closing part through pneumatic pressure lines installed in each of a first lifting part, a second lifting part, a first coupling mechanism coupled to one side of the gate body, and a second coupling mechanism coupled to the other side of the gate body. 본 발명은 기판 출입을 위한 제1출입구를 개폐하는 제1개폐부; 제1축방향을 기준으로 하여 상기 제1출입구에 대해 마주보게 배치된 제2출입구를 개폐하는 제2개폐부; 상기 제1개폐부와 상기 제2개폐부가 이동 가능하게 결합된 게이트본체; 상기 제1축방향에 대해 수직한 제2축방향을 기준으로 하여 상기 게이트본체의 일측을 상하방향으로 승하강시키는 제1승강부; 상기 제2축방향을 기준으로 하여 상기 게이트본체의 타측을 상기 상하방향으로 승하강시키는 제2승강부; 공압을 이용하여 상기 제1개폐부와 상기 제2개폐부를 상기 제1축방향을 따라 서로 반대되는 방향으로 이동시키는 구동부; 및 상기 게이트본체의 일측과 상기 게이트본체의 타측이 함께 승하강하도록 동기화시키는 동기화부를 포함하고, 상기 구동부는 상기 제1승강부, 상기 제2승강부, 상기 게이트본체의 일측에 결합된 제1결합기구, 및 상기 게이트본체의 타측에 결합된 제2결합기구 각각에 설치된 공압라인들을 통해 상기 게이트본체의 내부에 공압을 형성시켜서 상기 제1개폐부와 상기 제2개폐부를 이동시키는 게이트밸브에 관한 것이다.