AUTOMATED PARTICLE REMOVAL SYSTEM

A foreign particle removal system for removing a particle from a surface of a fragile object has a tool gripper, which grips a particle removal tool. A force sensing device determines a cleaning position of the particle removal tool relative to the surface whereat a threshold force is exerted on the surface, wherein the threshold force is a force exerted by the particle removal tool, which picks up the foreign particle but not damages the object, on the surface. The particle removal tool is conveyed over a location of the foreign particle and is moved towards the surface to the cleaning position whereat the threshold force is exerted on the surface. The particle removal tool is then lifted away from the surface together with the foreign particle. 취약성 물체의 표면으로부터 입자를 제거하기 위한 이물질 입자 제거 시스템은 입자 제거 공구를 파지하는 공구 그립퍼를 갖는다. 힘 감지 장치는 임계력이 가해지는 표면에 대한 입자 제거 공구의 세정 위치를 결정하며, 임계력은 이물질 입자를 픽업하지만 개체를 손상시키지 않는 입자 제거 공구에 의해 상기 표면에 가해지는 힘이다. 입자 제거 공구는 이물질 입자의 위치 위로 운반되고 임계력이 가해지는 표면을 향해 세정 위치로 이동된다. 그런 다음 입자 제거 공구가 이물질 입자와 함께 표면으로부터 들어 올려진다.