필름 박리 기구 및 기판 브레이크 시스템

간이한 구성으로 취성 재료 기판으로부터 보호 필름을 박리할 수 있도록 한다. 평판이고 또한 원환 형상의 보유지지 링에 장설 접착된 기판 보유지지 테이프에 취성 재료 기판이 접착되어 이루어지는 피처리체에 대하여, 기판의 한쪽 주면 전체를 덮고 또한 외주 단부가 보유지지 링의 내주측의 단부 근방에 도달하도록 접착된 보호 필름을, 피처리체로부터 박리하는 기구가, 피처리체를 수평면 내의 제1 방향에 있어서 반송하는 수평 반송 수단과, 피처리체가 보호 필름의 접착된 측을 상면으로 하는 수평 자세에 있는 상태에 있어서, 보호 필름의 외주 단부의 일부인 피파지부를 제1 방향에 대하여 대칭으로 파지 가능한 필름 파지 기구를 구비하고, 필름 파지 기구가 피파지부를 파지한 상태로, 수평 반송 수단이 피처리체를 제1 방향 중 보호 필름에 있어서 피파지부와 반대측의 부분이 피파지부에 근접하는 방향인 제1 방향으로 반송함으로써, 보호 필름을 박리하도록 했다. The invention allows a protective film to be released from a brittle material substrate via a simple configuration. In this invention, a brittle material substrate is adhered onto a substrate-holding tape which has been stretched and adhered onto a flat and circular holding ring thereby yielding an object for processing. A protective film is adhered onto the object for processing in such a manner as to cover one of the main surfaces of the substrate entirely, while reaching with the outer peripheral end portion thereof the vicinity of the edge portion on the inner peripheral side of the holding ring. A mechanism for releasing the protective film from the object for processing comprises: a horizontal transport means for transporting the object for processing in a first orientation within a horizontal plane; and a film-gripping mechanism capable of gripping, symmetrically with respect to the first orientation, parts for gripping, which are parts in the outer peripheral edge portion of the protective film, while the object for processing is in a horizontally oriented state wherein the upper surface is on the side whereon the protective film has been adhered. In a state wherein the film gripping mechanism has gripped the parts for gripping, the horizontal transport means transports the object for processing in a first direction, which is a direction in the first orientation wherein the portion on the opposite side from the parts for gripping approaches the parts for gripping within the protective film, thereby releasing the protective film.