금속-함유 필름의 생성 방법

본 발명은, 무기 금속-함유 필름의 제조 방법 분야에 관한 것이다. 상기 방법은, 고체 기재를 기체 상태의 하기 화학식 I, II, III 또는 IV의 화합물과 접촉시키는 단계를 포함한다:상기 식에서, A는 NR또는 OR이고, 이때 R은 알킬 기, 알켄일 기, 아릴 기 또는 실릴 기이고, E는 NR 또는 O이고, n은 0, 1 또는 2이고, m은 0, 1 또는 2이고, R'는 수소, 알킬 기, 알켄일 기, 아릴 기 또는 실릴 기이다. The present invention is in the field of processes...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	MAYR LUKAS, WINTER CHARLES HARTGER, KARUNARATNE THARINDU MALAWARA ARACHCHIGE NIMANTHAKA, KLENK SINJA VERENA, WEIGUNY SABINE, WEERATHUNGA SIRIKKATHUGE NILANKA, BLAKENEY KYLE, SCHWEINFURTH DAVID DOMINIQUE
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	ACYCLIC, CARBOCYCLIC OR HETEROCYCLIC COMPOUNDS CONTAININGELEMENTS OTHER THAN CARBON, HYDROGEN, HALOGEN, OXYGEN, NITROGEN,SULFUR, SELENIUM OR TELLURIUM CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL METALLURGY ORGANIC CHEMISTRY SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION
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Beschreibung
Zusammenfassung:	본 발명은, 무기 금속-함유 필름의 제조 방법 분야에 관한 것이다. 상기 방법은, 고체 기재를 기체 상태의 하기 화학식 I, II, III 또는 IV의 화합물과 접촉시키는 단계를 포함한다:상기 식에서, A는 NR또는 OR이고, 이때 R은 알킬 기, 알켄일 기, 아릴 기 또는 실릴 기이고, E는 NR 또는 O이고, n은 0, 1 또는 2이고, m은 0, 1 또는 2이고, R'는 수소, 알킬 기, 알켄일 기, 아릴 기 또는 실릴 기이다. The present invention is in the field of processes for preparing inorganic metal-containing films. The process comprises bringing a solid substrate in contact with a compound of general formula (I), (II), (III), or (IV) in the gaseous statewherein A is NR2 or OR with R being an alkyl group, an alkenyl group, an aryl group, or a silyl group,E is NR or O,n is 0, 1 or 2, m is 0, 1 or 2, andR' is hydrogen, an alkyl group, an alkenyl group, an aryl group, or a silyl group.