란타노이드 화합물, 란타노이드-함유 박막, 및 란타노이드 화합물을 사용한 란타노이드-함유 박막의 형성

안정성이 높고 융점이 사용 온도보다 낮아서 액체 상태로 사용될 수 있는, 란타노이드-함유 박막 형성용 란타노이드 화합물; 및 막 형성 방법을 제공한다. 해결 수단: 본 발명에 따른 란타노이드 화합물은 하기 일반식 1 또는 하기 일반식 2로 표시되는 화합물이다. [일반식 1] Ln(RCp)(A)[일반식 2] Sm(RCp)(A)(일반식 1에서, Ln은 Nd, Eu, Dy, Tm, 또는 Yb이고, R은 독립적으로 Me, Et,Pr,Pr,Bt,Bu,Bu, 또는Am이고, Cp는 시클로펜타디에닐이고, A는 산소, 황, 인, 또는 질소를 함유하는 선형 또는 환형 탄화수소이고, x는 2 내지 3의 정수이고, y는 0 내지 2이며, 일반식 2에서, R는 독립적으로Pr,Pr,Bt,Bu,Bu, 또는Am임). The lanthanoid compound according to the present invention is a compound represented by the following general formula Ln(R1xCp)2(A)y or the following general formula Sm(R2xCp)2(A)y. In Ln(R1xCp)2(A)y, Ln is Nd, Eu, Dy, Tm, or Yb, R1 is independently Me, Et, nPr, iPr, nBt, sBu, iBu, or tAm, Cp is cyclopentadienyl, A is a linear or cyclic hydrocarbon containing oxygen, sulfur, phosphorus, or nitrogen, x is an integer of 2 to 3, and y is 0 to 2. In Sm(R2xCp)2(A)y, R2 is independently nPr, iPr, nBt, sBu, iBu, or tAm.