Gas Sensor Package Having Micro-Nano Pattern and Method for Manufacturing Thereof

마이크로-나노 패턴을 구비하는 가스센서 패키지 및 이를 제조하는 방법을 개시한다. 본 실시예의 일 측면에 의하면, 가스 내 특정 성분의 양을 센싱하는 가스센서 패키지에 있어서, 기 설정된 파장 대역의 광을 조사하는 광원, 상기 광원이 광을 조사하는 방향으로 상기 광원 상에 도포되는 복수의 전극, 상기 광원이 광을 조사하는 방향으로 상기 전극의 상부 또는 상기 전극의 사이에 도포되며, 상기 특정 성분을 센싱하여 상기 전극 간의 저항값을 가변시키는 센싱물질 및 상기 기 설정된 파장 대역의 광을 상기 센싱물질로 반사시키는 복수 개의 나노...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	SONG YOUNGHYUN, JEON SIEWOOK, JANG INSEOK, KIM JAEPIL, KIM WANHO, JEONG HOJUNG
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING PHYSICS TESTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	마이크로-나노 패턴을 구비하는 가스센서 패키지 및 이를 제조하는 방법을 개시한다. 본 실시예의 일 측면에 의하면, 가스 내 특정 성분의 양을 센싱하는 가스센서 패키지에 있어서, 기 설정된 파장 대역의 광을 조사하는 광원, 상기 광원이 광을 조사하는 방향으로 상기 광원 상에 도포되는 복수의 전극, 상기 광원이 광을 조사하는 방향으로 상기 전극의 상부 또는 상기 전극의 사이에 도포되며, 상기 특정 성분을 센싱하여 상기 전극 간의 저항값을 가변시키는 센싱물질 및 상기 기 설정된 파장 대역의 광을 상기 센싱물질로 반사시키는 복수 개의 나노 돌기를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스센서 패키지를 제공한다.