복수의 전구체들을 위한 매니폴드 밸브

다양한 실시예들은 전구체 가스들을 프로세싱 툴로 공급하기 위한 장치를 포함한다. 다양한 예들에서, 장치는 프로세싱 툴의 프로세싱 챔버에 커플링하기 위한 매니폴드 바디를 포함하는 POU (point-of-use) 밸브 매니폴드를 포함한다. 매니폴드 바디는 고리에 의해 둘러싸인 복수의 전구체 가스 유출구 포트들을 갖는다. 매니폴드 바디의 퍼지 가스 유출구 포트가 실질적으로 고리의 내부 벽들을 향해 지향된다. 복수의 전구체 가스들 각각에 대해, POU 밸브 매니폴드는: 매니폴드 바디에 커플링된 제 1 밸브 및 제 1 밸브에 커플링된 방향...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	SHANKAR NAGRAJ, SHANBHAG DAMODAR RAJARAM
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	ACTUATING-FLOATS BLASTING CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL COCKS DEVICES FOR VENTING OR AERATING DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVEFUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS HEATING INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL LIGHTING MECHANICAL ENGINEERING METALLURGY SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION TAPS THERMAL INSULATION IN GENERAL VALVES WEAPONS
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