복수의 전구체들을 위한 매니폴드 밸브

다양한 실시예들은 전구체 가스들을 프로세싱 툴로 공급하기 위한 장치를 포함한다. 다양한 예들에서, 장치는 프로세싱 툴의 프로세싱 챔버에 커플링하기 위한 매니폴드 바디를 포함하는 POU (point-of-use) 밸브 매니폴드를 포함한다. 매니폴드 바디는 고리에 의해 둘러싸인 복수의 전구체 가스 유출구 포트들을 갖는다. 매니폴드 바디의 퍼지 가스 유출구 포트가 실질적으로 고리의 내부 벽들을 향해 지향된다. 복수의 전구체 가스들 각각에 대해, POU 밸브 매니폴드는: 매니폴드 바디에 커플링된 제 1 밸브 및 제 1 밸브에 커플링된 방향 전환 밸브를 더 포함한다. 제 1 밸브는 전구체 가스 공급부에 커플링될 수 있고 매니폴드 바디 내부의 분리된 전구체 가스 플로우 경로를 갖는다. 방향 전환 밸브는 전구체 가스가 제 1 밸브에 의해 프로세싱 챔버 내로 지향되지 않는 기간 동안 전구체 가스를 방향 전환한다. 다른 예들이 개시된다. Various embodiments include an apparatus to supply gases to a tool. In various examples, the apparatus includes a point-of-use (POU) valve manifold that includes a manifold body to couple to a chamber of the tool. The manifold body has multiple gas outlet ports. A purge-gas outlet port of the manifold body is directed substantially toward the outlet ports. For each of multiple gases to be input to the POU-valve manifold, the POU-valve manifold further includes: a first valve coupled to the manifold body and a divert valve coupled to the first valve. The first valve can be coupled to a gas supply and has a separate gas flow path internal to the manifold body and separate from remaining ones of the gas flow paths. The divert valve diverts the gas during a period when the precursor gas is not to be directed into the chamber by the first valve. Other examples are disclosed.