진공 펌프 시스템
본 발명은 직렬로 배치된 적어도 2개의 챔버(10, 12)를 갖는 진공 펌프 시스템에 관한 것이다. 터보분자 펌프(18)가 제 2 또는 최종 챔버에 연결되고, 다중-스테이지 루츠 펌프(24)는 제 1 챔버에 연결되며, 제 1 챔버(10)의 출구(25)는 다중-스테이지 진공 펌프의 중간 입구(26)에 연결되며, 터보분자 펌프(18)의 출구(20)는 다중-스테이지 진공 펌프(24)의 메인 입구(22)에 연결된다. A vacuum pump system having at least two chambers which are arranged...
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| Format: | Patent |
| Sprache: | kor |
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| Zusammenfassung: | 본 발명은 직렬로 배치된 적어도 2개의 챔버(10, 12)를 갖는 진공 펌프 시스템에 관한 것이다. 터보분자 펌프(18)가 제 2 또는 최종 챔버에 연결되고, 다중-스테이지 루츠 펌프(24)는 제 1 챔버에 연결되며, 제 1 챔버(10)의 출구(25)는 다중-스테이지 진공 펌프의 중간 입구(26)에 연결되며, 터보분자 펌프(18)의 출구(20)는 다중-스테이지 진공 펌프(24)의 메인 입구(22)에 연결된다.
A vacuum pump system having at least two chambers which are arranged in series. A turbomolecular pump is connected to the second or final chamber, and a multistage Roots pump is connected to the first chamber, wherein the outlet of the first chamber is connected to an intermediate inlet of the multistage vacuum pump, and an outlet of the turbomolecular pump is connected to a main inlet of the multistage vacuum pump. |
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