Shield for sputter and manufacturing method thereof

Embodiments of the present invention relate to a shield for sputtering and a method of manufacturing the same. A technical problem to solve is to provide the shield for sputtering and the method of manufacturing the same, in which a plurality of metal structures are densely formed on a base material using a 3D printer and a metal coating layer having a high roughness is formed on the base material and the plurality of metal structures, thereby increasing the overall surface area and roughness of the base material. To this end, the shield for sputtering includes: a base material having a first surface and a second surface opposite to the first surface; the plurality of metal structures arranged on the first surface of the base material; and the metal coating layer covering the metal structure and the first surface outside the metal structure. 본 발명의 다양한 실시예는 스퍼터용 쉴드 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 해결하고자 하는 기술적 과제는 3차원 프린터를 이용하여 모재에 다수의 금속 구조물을 촘촘하게 형성하고, 또한 모재 및 다수의 금속 구조물에 높은 거칠기를 갖는 금속 코팅층을 형성함으로써, 전반적으로 모재의 표면적 및 거칠기를 증가시킬 수 있는 스퍼터용 쉴드 및 그 제조 방법을 제공하는데 있다. 이를 위해 본 발명은 제1면과, 제1면의 반대면인 제2면을 갖는 모재; 상기 모재의 제1면에 배열된 다수의 금속 구조물; 및 상기 금속 구조물 및 상기 금속 구조물 외측의 제1면을 덮는 금속 코팅층을 포함하는, 스퍼터용 쉴드 및 그 제조 방법을 개시한다.