DRESSING APPARATUS FOR DOUBLE-SIDE POLISHER

Provided in the present invention is a dressing apparatus for a double-sided polisher capable of reducing the effect of a horizontal load with respect to a piston rod pressurizing a dressing member. To this end, a dressing apparatus (1), which dresses polishing pads (11a, 12a) by the relative motion between a dressing member (33) and a polishing pad (11a) attached to a lower surface plate (11) and a polishing pad (12a) attached to an upper surface plate (12), comprises: an arm member (2) which enters to be advanced and retreated between the lower surface plate (11) and the upper surface plate (12); a support member (31) installed at a front end (2b) of the arm member (2); a power cylinder (32) which is installed at the support member (31) and pressurizes the dressing member (33) towards the polishing pads (11a, 12a) by a piston rod (32a); and a load reducing means (34) which is interposed between the dressing member (33) and the power cylinder (32), and reduces the effect of a horizontal load with respect to the piston rod (32a). 본 발명은 드레싱 부재를 압박하는 피스톤 로드에 대한 횡하중의 작용을 감소시킬 수 있는 양면 연마기용의 드레싱 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 하정반(下定盤; 11)에 부착된 연마 패드(11a) 및 상정반(上定盤; 12)에 부착된 연마 패드(12a)와 드레싱 부재(33)의 상대 운동에 의해 연마 패드(11a, 12a)를 드레싱하는 드레싱 장치(1)에 있어서, 하정반(11)과 상정반(12) 사이에 진퇴 가능하게 진입하는 아암 부재(2)와, 아암 부재(2)의 선단(2b)에 설치된 지지 부재(31)와, 지지 부재(31)에 설치되고 드레싱 부재(33)를 연마 패드(11a, 12a)를 향해 피스톤 로드(32a)에 의해 압박하는 동력 실린더(32)와, 드레싱 부재(33)와 동력 실린더(32) 사이에 개재되고 피스톤 로드(32a)에 대한 횡하중의 작용을 감소시키는 하중 저감 수단(34)을 구비한 구성으로 하였다.