CONTROL APPARATUS EXPOSURE APPARATUS AND MANUFACTURING METHOD FOR ARTICLE

Provided is a control apparatus with which driving of a driving unit can be controlled with high accuracy with a simple configuration. According to the present invention, the control apparatus (100) comprises: a plurality of current supply sources (20) configured to individually supply a current based on a PWM method; a first detection unit configured to detect a driving state of a driving unit (14); and a control unit (50) configured to change values of the plurality of currents (Ixf, Ixb, Iyl, Iyr) which are supplied from the plurality of current supply sources (20) based on a result of the detection by the first detection unit and which are required to drive the driving unit (14) when a value of at least one of the plurality of currents (Ixf, Ixb, Iyl, Iyr) is a predetermined value. 간단한 구성으로 구동부의 구동을 고정밀도로 제어할 수 있는 제어장치를 제공하기 위해서, 본 발명에 따른 제어장치(100)는, 각각이 PWM 방식에 근거하여 전류를 공급하도록 구성된 복수의 전류 공급원(20)과, 구동부(14)의 구동 상태를 검출하도록 구성된 제1 검출부와, 제1 검출부에 의한 검출 결과에 근거하여 복수의 전류 공급원(20)으로부터 공급되고 구동부(14)의 구동에 필요한 복수의 전류(Ixf, Ixb, Iyl, Iyr) 중 적어도 한개의 전류의 값이 소정의 값일 경우에, 복수의 전류(Ixf, Ixb, Iyl, Iyr)의 값들을 변경하도록 구성된 제어부(50)을 구비한다.