레이저 빔 모니터링 시스템

입사 레이저 빔(24)의 속성을 모니터링하도록 구성된 레이저 빔 모니터링 시스템이 제공되며, 레이저 빔 모니터링 시스템은 빔 분리 요소(30) 및 복수의 센서(34a 내지 34d)를 포함하고, 여기서 빔 분리 요소는 입사 레이저 빔(24)으로부터 복수의 서브-빔(34a 내지 34d)을 형성하도록 구성되고, 제1 서브-빔은 복수의 센서 중 제1 센서로 향하며 제2 서브-빔은 복수의 센서 중 제2 센서로 향하고, 제1 서브-빔 및 제2 서브-빔의 상대 세기는 입사 레이저 빔이 빔 분리 요소에 입사되는 공간 위치에 의해 결정된다. A laser beam monitoring system configured to monitor an attribute of an incident laser beam (24), the laser beam monitoring system comprising a beam separating element (30) and a plurality of sensors (34a-34d), wherein the beam separating element is configured to form a plurality of sub-beams (24a-24d) from the incident laser beam (24), a first sub-beam being directed towards a first sensor of the plurality of sensors and a second sub-beam being directed towards a second sensor of the plurality of sensors, wherein relative intensities of the first and second sub-beams are determined by a spatial position at which the incident laser beam is incident upon the beam separating element.