Exposure Apparatus and Fine Metal Mask Manufacturing Method using the same

The present invention relates to an exposure apparatus capable of easily adjusting the width and angle of a light source, and a method for manufacturing a fine metal mask capable of manufacturing a fine metal mask without chemical treatment. To achieve the purpose of the present invention, the exposure apparatus according to the present invention comprises: a work stage which is installed to be able to slide and move in a horizontal direction; a light source module which is installed to be spaced apart from an upper part of the work stage by a predetermined distance and in which a plurality of LEDs are installed at predetermined intervals along a bottom surface; first and second supports which are connected to both ends of the light source module and support the light source module to be able to rotate; a driving apparatus which is installed in any one support selected from the first and second supports and rotates the light source module at a predetermined angle; a plurality of light blocking films which have upper ends installed on the bottom surface of the light source module to be detached therefrom and lower ends having a vertical downward length; and a controller which controls operation of the work stage and the driving apparatus. The controller controls operation of the driving apparatus such that the lower ends of the light blocking films are interlocked with an installation angle of the light source module according to a moving direction of the work stage. 본 발명은 광원의 폭과 각도 조절이 용이한 노광장치와, 화학적 처리 없이 파인 메탈 마스크를 제조할 수 있는 파인 메탈 마스크 제조방법에 관한 것이다. 상기의 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 노광장치는, 수평 방향으로 슬라이딩 이동 가능하게 설치되는 워크스테이지; 상기 워크스테이지의 상부에 소정 거리 이격되어 설치되면서 저면을 따라 소정 간격을 두고 복수 개의 LED가 설치되는 광원모듈; 상기 광원모듈의 양단에 연결되어 상기 광원모듈을 회전 가능하게 지지하는 제1, 2 지지대; 상기 제1, 2 지지대 중에서 선택된 어느 하나의 지지대에 설치되어 상기 광원모듈을 소정 각도로 회전 동작시키는 구동장치; 상단이 상기 광원모듈의 저면에 탈착 가능하게 설치되면서 하단이 수직의 하향 길이를 가지는 복수 개의 광차단막; 및 상기 워크스테이지와 상기 구동장치의 동작을 제어하는 제어기를 포함하고, 상기 제어기는, 상기 구동장치의 동작을 제어하여 상기 광차단막의 하단이 상기 워크스테이지의 이동 방향에 맞추어 상기 광원모듈의 설치 각도를 연동 제어하는 것을 특징으로 한다.